3D профилометр SIS-1200 PLUS

Особенности
3D анализ: Трехмерный анализ поверхности, получение статистики отчетов и результатов параметров поверхности.
Быстрота исследования: Интерферометр анализирует все поле в видоискателе за несколько секунд. Высокоскоростной цифровой анализ позволяет проводить быстрое исследование.
Высокое разрешение: Вертикальное разрешение: 0.1 нм. Настройки пользователя позволяют выбирать требуемое разрешение.
Широкий диапазон измерений: Исследования поверхности позволяют анализировать высоту от 1 нм до 200 мкм.
Вариативность полей зрения: прибор позволяет выбирать разные увеличения.



Конфигурация

Interscan System SIS-1200 Plus 1 sys



(A) Основной модуль (750*750*1573 мм), за исключением контроллера и монитора

- гранитная основа, база

- Мост

(B) Оптический модуль

- Illuminator(LED Lamp)

- Модуль фильтров

- B/W CCD камера ; 640 X 480

(C) Основной контролер

- Pentium IV PC

- Image Grabber

- Interface Board

- Main Monitor (17" LCD Color )

(D) Высокоскоростная/ Высокого разрешения CCD камера; 640 x 480 активных пикселей

(E) Высокоскоростной(до 30мкм/сек)/ высокоэффективный сканнер (ход 150 мкм)

(F) Высокоточный PZT сканирующий датчик замкнутого цикла

(G) Контроллер оптики и освещенности

- Драйвер движения по оси Z

- PZT Модуль усиления (емкостный датчик)

(H) Программное обеспечение

- I Series : программное обеспечение для измерений

-SNUMap : программное обеспечение для анализа



Платформа для измерений

- XY : 150 x 100 мм

- Наклон: ±3°

Антивибрационный стол (750X750X750)

Оптическая башня для объективов на 5 позиций

Общий вес: около 300 кг

Опциональные аксессуары

Объективы

- 2.5X

- 5X

- 10X ( Mirau Type)

- 20X ( Mirau Type)

- 50X ( Mirau Type)



Спецификация

Метод измерений:

- Усовершенствованный метод интерферометрии фазового сдвига

- Интерферометрия фазового сдвига



Возможность проведения измерений :

- 3D измерения профиля поверхности

- измерение шероховатости поверхности

- измерение высоты ступени слоя металлического покрытия



Зона обзора, измерений : От 0.181 мм до 3.62 мм: большие площади могут быть измерены, в зависимости от объектива



Вертикальное разрешение : 0.1 нм

Диапазон измерений : 0.2мкм to 150мкм с высокоточным PZT сканирующим датчиком замкнутого цикла